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产品介绍
半导体前道/后道晶圆质检制程中,使⽤深度学习算法, 对缺陷图像数据进⾏检测、分类。 保证0漏检情况下,保证10%以下的误报,降低80%⼈⼯ 复判量;兼容主流厂商主流⼚商数据,提升产线自动化和信息化水平。应用于半导体制程工艺控制
产品特点:保证0漏检情况下,保证10%以下的误报,降低80%⼈人工复判量 兼容主流厂商主流厂商数据,提升产线⾃动化和信息化水平
机器人本体 : 1台
控制柜 : 1套
示教器 : 1个
连接线缆 : 1根
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