发布时间:2019年06月11日
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用于半导体洁净室各位置间的晶圆载体传送(满足洁净等级:ISO Class5/Class100)
-高灵活性:不受现有布局控制,可与MES、EAP通信互联
-高安全性:周全防碰撞、防夹伤设计,自动避让
-高稼动率:超长续航,自动充电,免维护