发布时间:2019年06月11日
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用于半导体洁净室工艺区域间的晶圆载体传送(满足洁净等级:ISO Class5/Class100)
-高性价比:投资成本低,易维护,低功耗
-高灵活性:节省空间,易布局摆放,可变轨道
-高安全性:24V低电压驱动,周全防碰撞设计