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存储，记录，显示物料，方便查询可与OHS，AGV通信互联，实现不同高度物料传送客户化定制，可根据物料盒不同定制不同产品类型产品，根据空间大小设计不同尺寸洁净度：Class 10

产品介绍

半导体工厂晶圆载体储存，记录，查询物料（满足洁净等级：ISO Class4/Class10）

-高利用效率：空间利用率好于电子货架，对大批量晶圆载体储存有优势

-高灵活度：与MES系统，MR/AGV通信互联，友好人机界面