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晶圆双臂_翼菲机器人
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视频详细说明
扫片功能：可检测晶圆盒内的晶圆活基板是否有叠片、斜片的状态，提供相关数据进行手臂取放动作，机械结构有本体、手臂及末端执行器（选配）所组成。
●重复定位精度为±0.1mm
●具有极高的精确度
●灵活度和安全性
●可用于精密运输
●传送加工元件
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Python450-B6
Python550-B6
Python650-B6
Python550F-B3
