百级洁净室--助力半导体线边物流机器人产品快速优化迭代

　　半导体器件的生产对生产环境要求非常严格，涉及数百个制造工艺，对生产环境，如温度等生产环境，.湿度和清洁度都有严格的要求。半导体设备，特别是高密度集成电路，很容易受到各种污染的破坏。半导体设备对污染的敏感性取决于特征图形的小尺寸和晶片表面沉积层的薄度。空气中充满了灰尘，虽然肉眼看不见，但每个晶体管的灰尘都是大颗粒。如果这些颗粒附着在半导体晶圆上，可能会影响其精确的导线布局，破坏半导体设备的导电性，导致电短路或断路。因此，为了保证半导体生产的良好产量，我们必须保证其生产环境的清洁度。

　　（中科新松100级洁净室）近日，在浦东临港新松机器人制造基地，刚刚完成的100级洁净室已投入半导体生产环境相关试验。洁净室根据半导体生产环境进行100级（Class5)清洁等级建设，配合特殊仪器，可直接完成新松生产基地半导体智能生产过程中使用的运动部件的相关测试，大大加快了新松相关产品的优化迭代速度。

　　(中科新松百级洁净室)作为全球半导体Semi协会正式会员中科新松入会6年。

　　到目前为止，中科新松自主研发生产了多种适合半导体线边物流的核心机器人产品，包括ARV.OHS.OHT.RGV.Stocker.AMR.Lift等等，所有产品都按照SEMI设计认证标准，满足要求SEMIS2.SEMIS8.SEMIS17中的ESD.EMC.CLASS5等认证要求。此外，中科新松依托核心半导体线边物流组件，针对不同的半导体生产工艺，构建了众多线边物流自动化系统（AMHS）。在方案设计实施方面，中科新松充分发掘客户现场有限的使用空间，实现地面.空中一体化解决方案为客户创造了更大的价值。目前，中科已与多家国际知名半导体企业达成合作，交付并实施了数百台智能机器人设备，相关产品出口到东南亚等国家。