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翼菲-晶圆搬运机器人标准版双臂款-产品手册

标签:scara
所属品牌: 翼菲
所属类型:机器人
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产品介绍:


洁净室适用


所有机器人手臂和基座可互换


加长手臂和高负载版本可选


省空间


单臂、双臂/叠层牙叉适配


ISO Class 1级洁净度


支持控制箱内置


多种末端执行器适配


可选装横移轴、Mapping传感器、Wafer传感器等


支持客制化定制


产品特点:


高操控性的伺服电机和控制软件


实现低振动以及平稳快速搬送


主要用于半导体产业,如硅晶圆片等精密产品的搬运、翻转等


也可用于其它加工元件的精密运输、传送