案例 | 专为半导体行业设计的真空腔体边缘打磨抛光工作站
时间:2025-04-03
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为此,非夕科技合作伙伴DOCO Engineering为全球领先的真空技术公司Pfeiffer Vacuum打造了一款真空腔体综合打磨抛光工作站,专为半导体行业设计,显著提升了生产效率和工艺可靠性。
案例介绍
该工作站基于非夕科技自主研发的自适应机器人 Rizon 10,专为处理大型真空腔体(1220mm x 1300mm)的边缘打磨和抛光而设计。

工作流程


方案优势


非夕科技
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